S49 33M/MT型质量流量控制器(流量计)技术指标
编号 项目 S49 33/MT
1 流量规格 (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10) L/min (15,20,30) L/min
2 调节阀类型 电磁调节阀
3 调节阀静止位置 常闭
4 准确度 ± 1.0% F.S ± 2.0% F.S
5 线性 ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
6 重复精度 ±0.2 %F.S
7 响应时间 ≤8 s（T95）
8 工作压差范围 (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa
9 耐压 3 MPa ﹑ 10 MPa
10 工作环境温度 5℃ ～ 45℃
11 材料 不锈钢316L
12 标准密封材料 Viton®﹑EPDM, 或其他
13 漏率 1×10-8 Pa.m3/s
14 接头 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，
软管接头Ф4mm～Ф10mm 或其它
15 输入输出信号 0 V ～ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
16 电源 +15 V 50 mA
-15V 200 mA
17 外形尺寸 mm 134×134×38
18 重量 kg 1.2
注意： S49系列质量流量控制器(流量计)分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
特点及应用领域
气体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller（meter））缩写为MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。
S49系列质量流量控制器(流量计)特点：
*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON®、聚四氟乙烯等
*适用于各种腐蚀性气体
*气体流量不因温度、压力的变化而失准
*高精度
*重复性好
*响应速度快、软启动、稳定可靠
*低压降
*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装
*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器(流量计)主要应用领域：
*半导体制造行业的气体流量控制
*分析仪器设备的气体计量与控制
*各种形式的真空镀膜设备
*环境检测与分析设备
*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制
*特种材料表面处理装置与燃烧控制
*混气配气系统和泄漏探测系统等 |
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